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北方微电子PECVD装备竞逐OFweek

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来源: 作者: 2019-05-16 22:17:09

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一年一度的LED行业盛会 OFweek LED Awards2014行业年度评选 目前企业参评报名已近入尾声,并行将进入 用户投票及专家评选阶段 (2014年9月15日-2014年10月15日)。OFweek LED Awards评选减肚美背只需每天伸懒腰
涵括LED产业链的上游至下游,被誉为业界 奥斯卡奖 ,影响颇深。该评选由OFweek中国高科技行业门户主办、OFweek半导体照明及OFweek照明共同承办,已连续举办第四年,是OFweek2014年高科技行业重要的评选活动之一。

此次评选北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限公司将携NMC EPEETM550 PECVD(等离子体增强化学气相沉积系统)产品参加 最好LED设备技术创新奖 评选。

NMC EPEETM550 PECVD

北方微电子公司于2013年1月开始布局LED领域的PECVD设备开发,历经1年时间完成装备开发及优化,于2014年4七夕情人节12星座的告白语
月形成首台销售,5月份客户端调试,6月初实现量产。专家:未来股票可当电影票 银行券商或消失
6月份第二台设备同时实现销售,1个月后实现稳定量产。设备工艺结果能够满足客户不同芯片工艺的需求,生产运行稳定,获得了客户的高度认可。

NMC EPEETM550 PECVD是一款面向LED领域的大产能PECVD装备,适用于LED芯片制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程。,可用于SiO2、SiNx、SiONx等高质量薄膜的沉积。该设备具有运行稳定,、维护简单快捷,产能输出大,沉积膜层质量优异等特点。机台运行的主要进程包括:人工手动上片,自动合盖,执行工艺开始,装备自动依照预设的菜单,完成腔室状态检测,薄膜工艺沉积等多项内容。工艺完毕,腔室经充分吹扫后切换至大气状态,自动开盖后,人工下片。重复此循环,进行批量生产。

该设备整机集成度较高,控制系统和Gasbox均集成在主机内,整体占地小,集成度高,保护操作方便;工艺进气方式为中心进气、双层匀流,反应腔为中心下抽结构,能够构成良好的气体输入及分配结构,保证不同片位之间的工艺均匀性;上电极采取陶瓷隔离结构,具有高气压和高功率的工艺起辉能力,无工艺打火风险。既能有效提高工艺沉积速率,同时可提高腔室清洗时速率,有利于提升设备产能;针对LED行业主流的2 和4 片,载片台采取三区加热方式,内区和中区控制晶片的加热,外区则在晶片范围以外实现边缘保温效果,从而保证载片台内良好的温度均匀性。针对腔室、上盖及o-ring等位置,添加冷却结构,控制非加热部件的温度,延长部件使用寿命,提高机台安全性;设备装片容量61片2 或16片4 或7片6 ,无论是目前的小尺寸晶片还是未来的大尺寸晶片,都可以在EPEE550上取得具有优势的产能。同时可针对客户的特殊要求,能够进行装片尺寸、数量、排布的定制化;设备具有过渡腔颗粒搜集结构(专利技术),收集副产物颗粒,减少对于真空泵组的颗粒污染,延长泵组使用寿命。规、阀安装口具有防颗粒结构,延长部件寿命,同时均增加保护盲板,便于颗粒清理;设备定期进行干法自动清洗,清洗速率快,清洗效果优异,清洗范围覆盖上、下电极及腔室侧壁,清洗后工艺恢复时间短,可快速转换为生产模式。

PECVD作为LED领域的制程设备之一,广泛应用于钝化层、阻挡层、保护层等工艺,是LED芯片生产中的重要组成部分。目前能够提供LED领域生产型PECVD设备的厂商主要来自国外,如Ulvac、Oxford、Samco等厂商。存在设备价格昂贵,难以提供稳定、持久的国内售后服务,以及后期新工艺开发的支持力度不够等缺点。

通过2014年LED市场逐渐趋于火热的大环境推动,国内主要LED厂商均在扩充产能、提升技术、降低成本。国产LEDPECVD装备的适时推出,将以其优异的机台性能,更具竞争力的装备产能及使用成本,高效快捷的售后服务,协助客户在LED领域不断取得产能、性能、本钱方面的竞争优势,实现装备自身在LED领域更多的市场份额,最终形成与客户的共同成长与发展。

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